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轴承表面涂覆有厚度为亚微米量级的致密含氟高分子膜的高性能轴承。

特点

·低发尘、长寿命、高承载能力
·低转矩
·低废气排放
　在10-5Pa的高真空环境下，可在-100～260℃的温度下使用

用途

·半导体制造装置、晶片传送装置等

性能

CLEAN Pro轴承	SOLPACK轴承	FN轴承
球轴承内置单向离合器	高性能轴承	绝缘陶瓷轴承

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